荷蘭新規所有DUV光刻機都禁止出口？ASML正式回應-全球熱訊

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快科技7月1日消息，昨天有消息稱，ASML旗下所有的DUV光刻機，出口都要被經過認可才可以。

對于這樣的說法，也是引起了熱議，不過ASML給出了回應。

ASML表示，出口管制條例只涉及部分最新DUV型號，包括TWINSCAN NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統。EUV光刻機在此前已經受到限制，其他系統的發運未受管控。

此外，ASML還表示，上述規定是在9月1日才生效，而他們已經提交了許可申請。

所以，在上述時間之前發貨的DUV光刻機或不受影響，此前業內猜測的TWINSCAN NXT:1980Di也不受影響。

在這之前，光刻機大廠ASML高管對外表示，半導體業只有通力合作，建立完全自主的產業鏈，即使并非不可能也會極其困難。

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