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荷蘭新規所有DUV光刻機都禁止出口?ASML正式回應-全球熱訊

2023-07-02 15:04:19 來源:快科技


【資料圖】

快科技7月1日消息,昨天有消息稱,ASML旗下所有的DUV光刻機,出口都要被經過認可才可以。

對于這樣的說法,也是引起了熱議,不過ASML給出了回應。

ASML表示,出口管制條例只涉及部分最新DUV型號,包括TWINSCAN NXT:2000i及后續推出的浸潤式光刻系統。EUV光刻機在此前已經受到限制,其他系統的發運未受管控。

此外,ASML還表示,上述規定是在9月1日才生效,而他們已經提交了許可申請。

所以,在上述時間之前發貨的DUV光刻機或不受影響,此前業內猜測的TWINSCAN NXT:1980Di也不受影響。

在這之前,光刻機大廠ASML高管對外表示,半導體業只有通力合作,建立完全自主的產業鏈,即使并非不可能也會極其困難。

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